窯炉部用製品
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PARUCOCERAM SI |
シリコン含浸炭化ケイ素成形体です。半導体熱処理用部材として使用されております。 | |
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PARUCOCERAM RE |
高純度SICを使用した、再結晶炭化ケイ素成形体です。 各種窯炉部材、発熱ヒーターや、多孔質の特性を生かしたフィルター等にも使用されております。 |
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PARUCOCERAM SI |
シリコン含浸炭化ケイ素成形体です。半導体熱処理用部材として使用されております。 | |
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PARUCOCERAM RE |
高純度SICを使用した、再結晶炭化ケイ素成形体です。 各種窯炉部材、発熱ヒーターや、多孔質の特性を生かしたフィルター等にも使用されております。 |
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